2024年1月6日
發(fā)布時(shí)間：2024-01-08 17:40
編輯：夏明
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2024年1月6日，
寧波江豐電子材料股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種陶瓷靶材用背板的氧化鋯涂層及其制備方法和應(yīng)用“，公開號(hào)CN117344263A，申請(qǐng)日期為2023年10月。本發(fā)明提供一種陶瓷靶材用背板的氧化鋯涂層及其制備方法和應(yīng)用，所述制備方法包括以下步驟：(1)將背板的非噴涂區(qū)域進(jìn)行覆蓋保護(hù)，并對(duì)噴涂區(qū)域進(jìn)行冷噴砂處理；(2)對(duì)冷噴砂處理后的背板的非噴涂區(qū)域進(jìn)行覆蓋保護(hù)，并進(jìn)行預(yù)熱；(3)采用等離子噴涂工藝對(duì)所述噴涂區(qū)域進(jìn)行氧化鋯噴涂，得到氧化鋯涂層。本發(fā)明采用等離子噴涂法制備了一種陶瓷靶材用背板的氧化鋯涂層，該氧化鋯涂層的致密度≥95％，純度≥99.95％，微觀均勻致密，絕緣性能優(yōu)良，能夠有效得對(duì)靶材及背板進(jìn)行保護(hù)。
備注：數(shù)據(jù)僅供參考，不作為投資依據(jù)。
