氧化鋅鋁靶材 旋轉(zhuǎn)氧化鋅鋁靶 AZO旋轉(zhuǎn)靶材 陶瓷靶材

目前國(guó)內(nèi)外都在推廣應(yīng)用旋轉(zhuǎn)空心圓管磁控濺射靶，其優(yōu)點(diǎn)是靶材可繞固定的條狀磁鐵組件旋轉(zhuǎn)，因而360°靶面可被均勻刻蝕，利用***達(dá)80%。靶材的性能要求靶材制約著濺鍍薄膜的物理、力學(xué)性能，影響鍍膜質(zhì)量，因而靶材質(zhì)量評(píng)價(jià)較為嚴(yán)格，主要應(yīng)滿(mǎn)足如下要求；1)雜質(zhì)含量低，純度高。靶材的純度影響薄膜的均勻性。2)高致密度。高致密度靶材具有導(dǎo)電、導(dǎo)熱性好、強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)，使用這種靶材鍍膜，濺射功率小，成膜速***，薄膜不易開(kāi)裂，靶材使用壽命長(zhǎng)，而且濺鍍薄膜的電阻率低，透光***。3)成分與組織結(jié)構(gòu)均勻。靶材成分均勻是鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定的重要***。在軸間等距離的環(huán)形表面上形成刻蝕區(qū)，其缺點(diǎn)是薄膜沉積厚度均勻性不易控制，靶材的利用率較低，僅為20%~30%。